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01
Thermal Oxidation :
Wet 공정 & Dry 공정
PE-TEOS, LPCVD(SiN), PE-CVD(SiO2), PE-CVD(SiN)
02
Metal Deposition
Al, Ti, Au, Ni, Cu 등의 금속을 웨이퍼 표면에 증착
03
Wafer Thinning
다양한 응용에 따라 웨이퍼 두께별 가공
04
Cleaning & Polishing
고객 요구에 따른 세정 및 단면/양면 폴리싱 가능
05
Sawing
고객 요구에 따른 다이싱 가능